ICS 17.180.30 N 34 JB 中华人民共和国机械行业标准 JB/T9340—1999 光切显微镜 Light-sectionmicroscope 1999-08-06发布 20000101实施 国家机械工业局 发布 JB/T9340—1999 前言 本标准是对ZBN33005一88《光切显微镜》的修订。修订时，对原标准作了编辑性修改，主要技术内容 没有变化。 本标准自实施之日起，代替ZBN33005—88。 本标准由全国光学和光学仪器标准化技术委员会提出并归口。 本标准负资起草单位：上海光学仪器研究所，贵阳光电技术研究所。 本标准于1973年10月首次发布，于1988年12月第一次修订。 中华人民共和国机械行业标准 光切显微镜 JB/T93401999 代替ZBN33005—88 Light-sectionmicroscope 范围 1 本标准规定了光切显微镜技术要求、试验方法、检验规则。 本标准适用于测盘表面粗糙度参数值Rz（R）1m~100m的光切显微镜。 2引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本连为 有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 CB/T2828一1987逐批检查计数抽样程序及抽样表（适用于连续批的检查） CB/T2829一1987周期检查计数抽样程序及抽样表（适用于生产过程稳定性的检查） CB/T154641995仪器仪表包装通用技术条件 JB/T 9329[999 仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方法 基本参数及尺寸应符合表1的规定 表 1 序号 参数名称 单位 参 数 值 显微竞物镜放大率 7x 14 × 30 × 60 x 1 2 显微镜总放大率 60 × 120 × 260 × 510 × 物镜数值孔径 0. 12 0.2 0.4 0.55 3 4 显微镜物方视场 Φ2.5 @1.3 Φ0.6 @0.3 mm 物镜与工件的工作距离不应小于 9.5 2.5 0.2 0.04 5 mrm 6 R的量范困 μm 1 ~ 100 4技术要求 4.1在目镜视场中央狭缝的像和工作物的像应能同时调到清晰，其清晰范围不应小于视场的 直径、 4.2狭缝像轮哪边缘应光滑平直，狭缝像两边缘的平行度在目镜视场内不应超过0.03mmc 4.3狭缝像的垂直方向的弯曲量。 显微镜物镜放大率：60×不应超过7um; 30×不应超过11μm 4.4在目镜视场中观察标准分划尺分划线的像应平行而对称，不应有感觉出的明显偏斜或扇形等。 国家机械工业局1999-08_06批准 2000-01-01实施 JB/T9340—1999 4.5物镜座定位应可靠，当更换不同倍数物镜时，像的最大偏移： 在平行于狭缝像方向上不应超过0.3mm； 在垂直于狭缝像方向上不应超过0.5mm。 4.6在光切显微镜托架两侧承受19.6N压力时像的位移不应超过0.05mm。当外力除去后像不回原位的 程度不应超过0.03mm。 4.7照相摄影与目镜中的成像应同时清晰，并且摄影中心与目镜视场中心应同轴，其最大偏移量不应超 过2mme 4.8仪器示值的相对误差应符合表2的规定。 表 2 表面粗糙度R 仪器示值的相对误差 μm % 63 ~ 100 4.5 16 ~ 25 10.5 4 ~ 6.3 18 1 ~ 1.6 24 4.9工作台表面对于导轨纵横向移动平面的平行度。 平面工作台工作表面：在工作台整个工作范围中任意3mm内不应超过0.002mme V型块的V型槽工作表面：在工作台整个工作范围中任意3mm内不应超过0.005mm 4.10测微目镜的准确度 测微鼓任意一周内不应超过0.005mm 测微鼓全程内不应超过0.01mmo 4.11测微目镜的测微鼓指示零位时，测微目镜分划板的毫米刻线均应套在双刻线指标内。 4.12分格值为0.01mm的标准分划尺在分划范围内不应有显著的擦痕及其它影响测量的症病。标准分 划尺的任意两分划线间距的极限偏差不应超过±0.005mm 4.13光切显微镜传动机构及粗微动机构的转动或移动应平稳舒适，不应有卡住和急跳现象。 4.14在光切显微镜的视场内，不应有显著的和影响测盘的气泡、麻点、擦痕、灰尘及其它疣病。 4.15光切显微镜所有无被覆防腐层的金属表面上，不应有显著的和影响测的划痕或碰伤，工作表面 不应有锈蚀。 4.16仪器在运输包装条件下，应符合JB/9329的要求。其中高温试验选用+55℃，低温试验选用-40℃， 自由跌落高度250mm。 4.17根据用户的需要，制造厂应能保证全部（或部分）供应下列附件： 7×，14×，30×，60×物镜各一件； b) 测微目镜一件； c) V型块一件； d) 分格值为0.01mm的标准分划尺一支； e) 摄影装置一套； f) 照明设备一套； g) 备用灯泡五只。 5试验方法 5.1仪器在进行试验时，试验室的温度必须保证在20℃±5℃范围内。板试仪器放在内平衡温度的时 间应不少于12h。 5.2成像质量（4.1) JB/T9340-1999 5.2.1试验工具 分划长度为2mm，分格值为0.01mm的专用分划尺。 5.2.2试验程序 用标准分划尺按要求目测检验。 5.3狭像两边缘的平行度(4.2) 5.3.1试验工具。 五等量块一块。 5.3.2试验程序 使用7×物镜，狭缝像轮廊边缘的直线度可用测微目镜中的水平线来测定。在工作台上放一块五等 量块，当水平线与狭缝像两个边缘依次重合时，不允许有眼睛能见的弯曲度和缺口。使水平线与视场右端 狭缝像的一个边缘重合，并在测微目镜鼓轮上进行读数1；再转动鼓轮使水平线与右端狭缝像的另一个 边缘重合，进行读数α2。则视场右端狭缝像的宽度b，可以用公式（1)，公式(2)计算： 对于十字线分划板的测微目镜： b1m(a1-a00545°=102 (1) /2 对于水平线分划板的测微目镜： br=() ·(2) 以上述同样方法测出视场中部和左端狭缝像的宽度b2，b，视场狭缝像宽度的最大差值即为狭缝两 边缘的平行度。 5.4狭缝像在垂直方向的弯曲量（4.3) 5.4.1试验工具 a）五等量块一块； b）分格值为0.001nm的千分表和专用表架。 5.4.2试验程序 在工作台上放一块盘块，调节仪器使测微目镜视场中部呈现清晰的狭缝像，然后在仪器的立柱上装 一个千分表，使其测量头与仪器托架相接触，再次调节测微目镜视场中都呈现清晰的狭缝像，读出千分表 的读数1,再转动微调机构分别调节狭缝像左、右两端清晰，读出千分表的读数a2,。其中a2和a分别 与a：的差值不应超过本标准中所规定的数值。 注：调节狭缝像左、右两举清晰时，其清晰范围分别应大于视场直径的1/12。 5.5在目镜视场中观察标准分划尺的质盘（4.4) 5.5.1试验工具 分格值为0.01mm的标准分划尺。 5.5.2试验程序 在工作台上放一分格值为0.01mm的标准分划尺，调节调焦机构使分划尺的像清晰地呈现在视场的 狭缝像中间部分，按要求目测检验。 5.6物镜座定位的可靠性（4.5) 5.6.1试验工具 分格值为0.01mm的标准分划尺。 5.6.2试验程序 在仪器上先装上最大放大率的物镜，在工作台上放一标准分划尺，调节调焦机构使分划尺的像清晰 地呈现在视场的狭缝像中间部分，然后使测微目镜十字线的水乎线与获狭缝像的边缘平行，并与工作台水 平运动方向平行。将十字线的垂直线与标准分划尺上任一分划线重合，读出工作台纵横向测微鼓示值1， b1，再按物镜放大率从大到小依次调换，转动微调机构用上述方法读出工作台纵横向测微鼓示值。它们之 间最大差值不应超过标准中所规定的数值。 3 JB/T9340-1999 5.7托架两侧受压时像的位移（4.6) 5.7.1试验工具： a）分格值为0.01mm的标准分划尺； b）加力工具。 5.7.2试验程序 在工作台上放一标准分划尺，调节测微目镜使测微目镜十字线的垂直线与标准分划尺的刻线平行。 然后将测微目镜十字线的垂直线对准任一分划线，用手在仪器托架下端中央两侧施加19.6N压力时，像 的位移应符合本标准的要求。当外力去除后，像的回原位的位移量也应符合本标准的要求。 5.8照相摄影（4.7) 5.8.1试验工具 a）五等量块一块； b）带有刻线的毛玻璃一块。 5.8.2试验程序 在工作台上放一量块。调节仪器使在测微目镜视场中部垦清晰的狭缝像；然后在摄影装置成像平面 上装一块毛玻璃，观察狭链像是否清晰和是否位于成像平面中部。 5.9仪器示值的相对误差(2.8) 5.9.1试验工具 单刻线样板（Rz为63%m~100mm，16mm25m，4mm6.3mm，1mm~1.6mm）各块。 5.9.2试验程序 测定仪器示值的相对误差时应根据测量Rz的范围不同，选用不同的显微镜物镜放大率，R为 63μm~100μm的单刻线样板用于检验7×物镜，其余依次类推。 先将单刻线样板量于仪器的工作台上，然后调整仪器使单刻线样板在视场内出现清断的像，借助 器工作台的微调机推移单刻线样板，使样板的应用段连同两个记号一起现在狭缝清晰像的-边，并使 样板的刻线方向与狭缝像的长边垂直，然后转动测微目铸装轮使水平线平行于狭缝像的边缘，再次调节 仪器使样板表面的像达到最清晰，转动测微鼓轮使测微目镜十字线的水平线与样板刻线表面的像重合 （图1)，读出测微鼓轮的第一次读数a1。然后转动测微鼓轮使测微目镜十字线的水平线与样板刻线底部 的像重合（图2)，读出测微鼓轮的第二次读数α2。在测量深度α时应进行三次调焦，各次调焦要进行三次 读数，样板的刻线深度取