(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221802394.9 (22)申请日 2022.07.13 (73)专利权人 宁夏隆基乐叶科技有限公司 地址 750021 宁夏回族自治区银川市经济 技术开发区西夏区宏图南 街115号 (72)发明人 赵赞良　樊建江　王武林　韩晓辉　 聂大小　王安红　王茹　崔昕瑞　 (74)专利代理 机构 北京润泽恒知识产权代理有 限公司 1 1319 专利代理师 赵娟 (51)Int.Cl. B23K 26/362(2014.01) B23K 26/142(2014.01) B23K 26/16(2006.01) B23K 26/70(2014.01)H01L 31/18(2006.01) (54)实用新型名称 旋转台及硅片激光雕刻系统 (57)摘要 本申请实施例提供了一种旋转台及硅片激 光雕刻系统， 涉及光伏电池制造技术领域。 所述 旋转台包括旋转支架以及连接在所述旋转支架 上的支撑台， 所述旋转支架可带动所述支撑台旋 转， 以使所述支撑台在多个工位之间移动； 所述 支撑台设有用于支撑硅片的台面， 所述支撑台通 过转动轴可转动地连接在所述旋转支架上， 以使 所述支撑台沿所述转动轴转动预设角度后所述 台面倾斜或翻转。 权利要求书1页 说明书6页 附图3页 CN 217965325 U 2022.12.06 CN 217965325 U 1.一种旋转台， 用于硅片加工， 其特征在于， 所述旋转台包括旋转支架以及连接在所述 旋转支架上 的支撑台， 所述旋转支架可带动所述支撑台旋转， 以使所述支撑台在多个工位 之间移动； 所述支撑台设有用于支撑硅片的台面， 所述支撑 台通过转动轴可转动地连接在所述旋 转支架上， 以使所述支撑台沿所述 转动轴转动预设角度后所述台面 倾斜或翻转。 2.根据权利要求1所述的旋转台， 其特征在于， 所述支撑 台转动预设角度后所述台面翻 转， 所述台面包括位于所述支撑台一侧的第一台面和位于所述支撑台相对另一侧的第二台 面。 3.根据权利要求2所述的旋转台， 其特征在于， 所述转动轴与所述支撑台的中心线重 合， 所述旋转台还包括驱动装置， 所述驱动装置与所述转动轴传动连接以驱动所述支撑台 转动。 4.根据权利要求3所述的旋转台， 其特征在于， 所述旋转支架包括台面框， 所述支撑台 位于所述台面框内； 所述转动轴包括连接在所述支撑台一边的第一半轴以及连接在所述支 撑台相对另一边的第二半轴， 所述第一半轴和所述第二半轴可转动地连接在所述台面框 上。 5.根据权利要求1 ‑4任一项所述的旋转台， 其特征在于， 所述旋转台还包括限位组件， 所述支撑台处于非转动状态时， 所述限位组件连接所述旋转支架和所述支撑台， 以限制所 述支撑台的转动。 6.根据权利要求5所述的旋转台， 其特征在于， 所述限位组件包括第 一限位组件和第 二 限位组件， 所述第一限位组件与所述转动轴的距离小于所述第二限位组件与所述转动轴的 距离。 7.根据权利要求6所述的旋转台， 其特征在于， 所述第 一限位组件位于所述转动轴的一 侧， 所述第二限位组件位于所述 转动轴的另一侧。 8.根据权利要求5所述的旋转台， 其特征在于， 所述 限位组件包括 限位孔和限位销； 所 述限位孔和/或所述限位销设有导向结构。 9.根据权利要求1或2所述的旋转台， 其特征在于， 所述台面上设有多个间隔设置的吸 附孔， 所述吸附孔与真空发生装置连通， 以通过 所述吸附孔将硅片吸附在所述台面上。 10.一种硅片激光雕刻系统， 其特 征在于， 包括如权利要求1 ‑9任一项所述的旋转台。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217965325 U 2旋转台及 硅片激光雕 刻系统 技术领域 [0001]本申请实施例涉及 光伏电池制造技术领域， 尤其涉及一种旋转台及硅片激光雕刻 系统。 背景技术 [0002]光伏电池制造领域中， 在对硅片进行加工时， 通常将硅片放置在旋转台上， 通过旋 转台的旋转使硅片依次经过各个加工工位。 由于硅片的厚度较薄且旋转台的旋转速度较 快， 因此硅片在旋转台上容 易产生碎片。 [0003]相关技术中， 通常设置压缩空气 吹嘴， 通过吹嘴向旋转台吹出压缩空气从而吹扫 旋转台上的碎片。 然 而， 吹扫后的旋转台经常有残留的碎片。 实用新型内容 [0004]本申请实施例提供一种旋转台及硅片激光雕刻系统， 用以解决旋转台经常有残留 的碎片的问题。 [0005]一方面， 本申请实施例提供了一种旋转台， 用于硅片加工， 所述旋转台包括旋转支 架以及连接在所述旋转支架上 的支撑台， 所述旋转支架可带动所述支撑台旋转， 以使所述 支撑台在多个工位之间移动； 所述支撑台设有用于支撑硅片的台面， 所述支撑台通过转动 轴可转动地连接在所述旋转支架上， 以使 所述支撑台沿所述转动轴转动预设角度后所述台 面倾斜或翻转。 [0006]可选地， 所述支撑台转动预设角 度后所述台面翻转， 所述台面包括位于所述支撑 台一侧的第一台面和位于所述支撑台相对另一侧的第二台面。 [0007]可选地， 所述转动轴与所述支撑台的中心线重合， 所述旋转台还包括驱动装置， 所 述驱动装置与所述 转动轴传动连接以驱动所述支撑台转动。 [0008]可选地， 所述旋转支架包括台面框， 所述支撑台位于所述台面框内； 所述转动轴包 括连接在所述支撑台一边的第一半轴以及连接在所述支撑台相对另一边的第二半轴， 所述 第一半轴和所述第二半轴可转动地连接在所述台面框上。 [0009]可选地， 所述旋转台还包括限位组件， 所述支撑台处于非转动状态时， 所述限位组 件连接所述旋转支 架和所述支撑台， 以限制所述支撑台的转动。 [0010]可选地， 所述限位组件包括第一限位组件和第二限位组件， 所述第一限位组件与 所述转动轴的距离小于所述第二限位组件与所述 转动轴的距离 。 [0011]可选地， 所述第一限位组件位于所述转动轴的一侧， 所述第二限位组件位于所述 转动轴的另一侧。 [0012]可选地， 所述限位组件包括限位孔和限位销； 所述限位孔和/或所述限位销设有导 向结构。 [0013]可选地， 所述台面上设有多个间隔设置 的吸附孔， 所述吸附孔与真空发生装置连 通， 以通过 所述吸附孔将硅片吸附在所述台面上。说　明　书 1/6 页 3 CN 217965325 U 3