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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122450106.X (22)申请日 2021.10.12 (73)专利权人 宏芯气体 (上海) 有限公司 地址 201900 上海市宝山区长逸路18 8号1 幢A-1339室 (72)发明人 白久 赵颖毅 林晨 陈龙  王虎林 蔡明哲  (74)专利代理 机构 芜湖市昌强专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 3420 3 专利代理师 周渭铭 (51)Int.Cl. B01D 46/12(2022.01) B01D 46/30(2006.01) B01D 46/88(2022.01) B01D 53/26(2006.01)A61L 9/20(2006.01) C01B 21/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于电子大宗气体生产的氮气供应设 备 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于电子大宗气体 生产的氮气供应设备, 包括氮气发生器本体, 所 述氮气发生器本体外壁一侧固定连接有固定板, 所述固定板内部设有净化箱, 所述固定板底部设 有气泵, 所述气泵输出端设置有进气管, 所述进 气管贯穿净化箱延伸至净化箱内壁底端。 本实用 新型通过导气孔能够减缓空气的流动速度, 防止 由于空气的流动速度较快导致空气中的杂质堆 积在一起, 然后空气会通过过滤网进行初步净 化, 过滤棉进一步对空气进行净化处理, 通过紫 外线杀菌灯进行杀菌后通过活性炭吸附网能够 对空气中进行进一步的过滤, 以及配合过滤盒内 部的干燥剂 对空气中的湿气进行处理, 从而提高 氮气的提取效率, 进 而提高对氮气的供应效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216703721 U 2022.06.10 CN 216703721 U 1.一种用于电子大宗气体生产的氮气供应设备, 包括氮气发生器本体(1)与紫外线杀 菌灯(13), 其特征在于: 所述氮气发生器本体(1)外壁一侧固定连接有固定板(2), 所述固定 板(2)内部设有净化箱(3), 所述固定板(2)底部设有气泵(6), 所述气泵(6)输出端设置有进 气管(7), 所述进气管(7)贯 穿净化箱(3)延伸至净化箱(3)内壁底端; 所述净化箱(3)内壁一侧固定连接有导流板(8 ), 所述导流板(8)内部开设有导气孔 (9), 所述导气孔(9)的数量设置为多个, 所述导气孔(9)截面形状设置为折线形, 所述导流 板(8)顶部两侧均固定连接有分流板(10), 所述分流板(10)截面形状 设置为三角形, 两个所 述分流板(10)之间固定连接有过滤网(11), 所述过滤网(11)顶部设有过滤棉(12), 所述紫 外线杀菌灯(13)顶部设有活性炭吸附网(14); 所述净化箱(3)内壁顶端两侧均固定连接有插槽(15), 两个所述插槽(15)之间插接有 插板(16), 所述插板(16)内壁开设有排气孔(17), 所述插板(16)底部固定连接有过滤盒 (18), 所述过 滤盒(18)内部设有干燥剂(19)。 2.根据权利要求1所述的一种用于电子大宗气体生产的氮气供应设备, 其特征在于: 所 述净化箱(3)内壁顶端设有导气管(4), 所述导气管(4)贯穿所述氮气发生器本体(1)延伸至 所述氮气发生器本体(1)内部, 所述 导气管(4)内壁 一侧设有控制阀(5)。 3.根据权利要求1所述的一种用于电子大宗气体生产的氮气供应设备, 其特征在于: 所 述过滤棉(12)顶部设有紫外线杀菌灯(13), 所述紫外线杀菌灯(13)的数量设置为三个, 三 个所述紫外线杀菌灯(13)均 与净化箱(3)内壁固定连接 。 4.根据权利要求1所述的一种用于电子大宗气体生产的氮气供应设备, 其特征在于: 所 述插板(16)位于导气管(4)正下 方, 所述排气孔(17)的数量设置为多个。 5.根据权利要求1所述的一种用于电子大宗气体生产的氮气供应设备, 其特征在于: 所 述固定板(2)内壁一侧开设有固定螺孔(20), 所述固定螺孔(20)内壁螺纹连接有锁 紧螺栓 (21), 所述锁紧螺 栓(21)外壁 一侧设有紧 固板(22)。 6.根据权利要求5所述的一种用于电子大宗气体生产的氮气供应设备, 其特征在于: 所 述锁紧螺栓(21)与紧固板(22)连接处设有轴承, 所述锁紧螺栓(21)通过轴承与紧固板(22) 转动连接, 所述紧 固板(22)与固定 板(2)之间固定连接有压缩弹簧(23)。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 216703721 U 2一种用于电子大宗气体生产的氮气供应设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及氮气供应设备技术领域, 具体涉及一种用于电子大宗气体生产的 氮气供应设备。 背景技术 [0002]制氮机是指 以空气为原料, 利用物理方法将其中的氧和氮分离而获得氮气的设 备, 根据分类方法的不同, 即深冷空分法、 分子筛空分法和膜空分法, 制氮机以优质进口碳 分子筛为吸 附剂, 采用常温下变压吸 附原理分离空气制取高纯度的氮气, 通常使用两吸 附 塔并联, 由进口PLC控制进口气动阀自动运行, 交替进行加压吸附和解压再生, 完成氮氧分 离, 获得所需高纯度的氮气, 氮气发生器是一种先进的气 体分离技术, 以优质进口碳分子筛 (CMS) 为吸附剂, 采用常温下变压吸附原理 (PSA) 分离空气制取高纯度的氮气, 变压吸附空 分制氮 (简称P.S.A制氮)  是一种先进的气体分离技术, 以优质进口碳分子筛 (CMS) 为吸附 剂, 采用常温下变压吸附原理 (P SA) 分离空气制取高纯度的氮气。 [0003]在进行氮气供应时, 在对空气进行提取时, 可能会由于空气中掺杂的杂质而导致 提取的氮气纯度较低, 从而对氮气制备工艺造成干扰。 [0004]因此, 发明一种用于电子大宗气体生产的氮气供应设备来解决上述问题很有必 要。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的是提供一种用于电子大宗气体生产的氮气供应设备, 通过导气 孔能够减缓空气的流动速度, 然后空气会通过过滤网进行初步净化, 过滤棉进一步对空气 进行净化处理, 通过紫外线杀菌灯进 行杀菌后通过 活性炭吸附网能够 对空气中进 行进一步 的过滤, 以及配合过滤盒内部的干燥剂对空气 中的湿气进行处理, 以解决技术中的上述不 足之处。 [0006]为了实现上述目的, 本实用新型提供如下技术方案: 一种用于电子大宗气体生产 的氮气供应 设备, 包括氮气发生器本体, 所述氮气发生器本体外壁一侧固定连接有固定板, 所述固定板内部 设有净化箱, 所述固定板底部 设有气泵, 所述气泵输出端设置有进气管, 所 述进气管贯 穿净化箱延伸至净化箱内壁底端; [0007]所述净化箱内壁一侧固定连接有导流板, 所述导流板内部开设有导气孔, 所述导 气孔的数量设置为多个, 所述导气孔截面形状设置为折线形, 所述导流板顶部两侧均固定 连接有分流板, 所述分流板截面形状设置为三角形, 两个所述分流板之间固定连接  有过滤 网, 所述过 滤网顶部设有过 滤棉, 所述 紫外线杀菌灯顶部设有活性炭吸附网; [0008]所述净化箱内壁顶端两侧均 固定连接有插槽, 两个所述插槽之间插接有插板, 所 述插板内壁 开设有排气孔, 所述插板底部固定连接有过 滤盒, 所述过 滤盒内部设有干燥剂。 [0009]优选的, 所述净化箱内壁顶端设有导气管, 所述导气管贯穿所述氮气发生器本体 延伸至所述氮气发生器本体内部, 所述 导气管内壁 一侧设有控制阀。说 明 书 1/3 页 3 CN 216703721 U 3

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