(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122917196.9 (22)申请日 2021.11.25 (73)专利权人 武汉驿天诺科技有限公司 地址 430000 湖北省武汉市东湖新 技术开 发区光谷三路7 77号 (72)发明人 王辉文　单娜　 (74)专利代理 机构 苏州拓云知识产权代理事务 所(普通合伙) 3234 4 代理人 高泽民 (51)Int.Cl. G01N 33/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆划痕检测装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶圆划痕检测装置， 涉及晶圆划痕检测技术领域， 为解决现有的晶圆 划痕检测容易受到环境影响导致检测不够准确 的问题。 所述透明外箱外部上端的一侧安装有固 定外壳， 且固定外壳与透明外箱固定连接， 所述 固定外壳内部的中间位置处安装有第三驱动电 机， 且第三驱动电机与固定外壳通过固定块连 接， 所述第三驱动电机的输出端安装有 叶轮， 所 述透明外箱外部前端的一侧安装有透明门板， 且 透明门板与透明外箱转动连接， 所述透明外箱下 端内部的一侧设置有内腔， 所述内腔内部前端的 一侧安装有储 灰盒， 所述储灰盒内部后端的一侧 安装有过滤网， 且过滤网与储灰盒固定连接， 所 述透明外箱内部下端靠近储灰盒的一侧设置有 通风口。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 216411226 U 2022.04.29 CN 216411226 U 1.一种晶圆划痕检测装置， 包括透明外箱(1)， 其特征在于： 所述透明外箱(1)外部上端 的一侧安装有固定外壳(12)， 且固定外壳(12)与透明外箱(1)固定连接， 所述固定外壳(12) 内部的中间位置处安装有第三 驱动电机(22)， 且第三 驱动电机(22)与固定外壳(12)通过固 定块(23)连接， 所述第三 驱动电机(22)的输出端安装有叶轮(21)， 所述透明外箱(1)外部前 端的一侧安装有透明门板(20)， 且透明门板(20)与透明外箱(1)转动连接， 所述透明外箱 (1)下端内部的一侧设置有内腔(16)， 所述内腔(16)内部前端的一侧安装有储 灰盒(15)， 所 述储灰盒(15)内部后端的一侧安装有过滤网(17)， 且过滤网(17)与储灰盒(15)固定连接， 所述透明外箱(1)内部下端靠 近储灰盒(15)的一侧设置有通 风口(14)。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆划痕检测装置， 其特征在于： 所述内腔(16)内部靠近 过滤网(17)的一侧安装有第二驱动电机(18)， 且第二驱动电机(18)与内腔(16)固定连接， 所述第二驱动电机(18)的输出端安装有扇叶(19)。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆划痕检测装置， 其特征在于： 所述透明外箱(1)内部 前端的一侧安装有划痕检测器(2)、 升降装置(5)和第一放置盒(4)， 且升降装置(5)位于划 痕检测器(2)与第一放置盒(4)之间， 所述第一放置盒(4)和第二放置盒(3)内部的两侧均安 装有若干置物条(24)， 且置物条(24)依次分布。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆划痕检测装置， 其特征在于： 所述升降装置(5)的上 端安装有固定内壳(6)， 且固定内壳(6)与升降装置(5)固定连接， 所述固定内壳(6)的内部 安装有第一驱动电机(7)， 所述第一驱动电机(7)的输出端安装有固定盘(8)。 5.根据权利要求4所述的一种晶圆划痕检测装置， 其特征在于： 所述固定盘(8)外部的 上端两侧安装有滑块(10)， 且滑块(10)与固定盘(8)滑动连接， 所述滑 块(10)上端的一侧安 装有固定架(11)， 且固定架(11)与滑块(10)固定连接， 所述滑块(10)下端位于固定盘(8)内 部的两侧安装有电动推杆(9)， 且电动推杆(9)与固定盘(8)固定连接 。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆划痕检测装置， 其特征在于： 所述固定外 壳(12)外部 前端的一侧安装有防尘网(13)， 且防尘网(13)与固定 外壳(12)固定连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216411226 U 2一种晶圆划痕检测装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆划痕检测技 术领域， 具体为 一种晶圆划痕检测装置 。 背景技术 [0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅 晶片， 其原始材料是硅。 高纯度的多晶硅溶 解后掺入硅晶体晶种， 然后慢慢拉出， 形成圆柱形的单晶硅。 硅晶棒在经过研磨， 抛光， 切片 后， 形成硅晶圆片， 也就是 晶圆。 半导体工业对于晶圆表面缺陷检测的要求， 一般是要求高 效准确， 能够捕捉有效缺陷， 实现实时检测。 较为普遍的表面检测技术主要可以分为两大 类： 针接触法和非接触法， 接触法以针触法为代表； 非接触法又可以分为原子力法和光学 法。 在具体使用时， 又 可以分为成像的和非成像的。 [0003]但是， 现有的晶圆划痕检测装置在使用时常常会因为空气中漂浮的灰尘吸附在晶 圆的表面从而导致检测不够精确， 因此不满足现有的需求， 对此我们提出了一种晶圆划痕 检测装置 。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种晶圆划痕检测装置， 以解决上述背景技术中提出 的晶圆划痕检测容 易受到环境影响导 致检测不够准确的问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种晶圆划痕检测装置， 包括透 明外箱， 所述透明外箱外部上端的一侧安装有固定外壳， 且固定外壳与透明外箱固定连接， 所述固定外壳内部的中间位置处安装有第三驱动电机， 且第三驱动电机与固定外壳通过固 定块连接， 所述第三驱动电机的输出端安装有叶轮， 所述透明外箱外部前端的一侧 安装有 透明门板， 且透明门板与透明外箱 转动连接， 所述透明外箱下端内部的一侧设置有内腔， 所 述内腔内部前端的一侧 安装有储灰盒， 所述储灰盒内部后端的一侧 安装有过滤网， 且过滤 网与储灰盒固定连接， 所述透明外箱内部下端靠 近储灰盒的一侧设置有通 风口。 [0006]优选的， 所述内腔内部靠近过滤网的一侧安装有第二驱动电机， 且第二驱动电机 与内腔固定连接， 所述第二驱动电机的输出端安装有扇叶。 [0007]优选的， 所述透明外箱内部前端的一侧安装有划痕检测器、 升降装置和第一放置 盒， 且升降装置位于划痕检测器与第一放置盒之间， 所述第一放置盒和第二放置盒内部的 两侧均安装有 若干置物条， 且置物条依次分布。 [0008]优选的， 所述升降装置的上端安装有固定内壳， 且固定内壳与升降装置固定连接， 所述固定内 壳的内部安装有第一驱动电机， 所述第一驱动电机的输出端安装有固定盘。 [0009]优选的， 所述固定盘外部的上端两侧安装有滑块， 且滑块与固定盘滑动连接， 所述 滑块上端的一侧 安装有固定架， 且固定架与滑块固定连接， 所述滑块下端位于固定盘内部 的两侧安装有电动推杆， 且电动推杆与固定盘固定连接 。 [0010]优选的， 所述固定外壳外部前端的一侧安装有防尘网， 且防尘网与固定外壳固定 连接。说　明　书 1/3 页 3 CN 216411226 U 3