ICS 31-030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T11446.9—2013 代替GB/T11446.9—1997 电子级水中微粒的仪器测试方法 Test method for particles in electronic grade water by instrument 2013-12-31发布 2014-08-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 11446.9—2013 前言 GB/T11446预计结构如下： GB/T11446.1电子级水； GB/T 11446.2 （待定）； GB/T11446.3 电子级水测试方法通则； GB/T 11446.4 电子级水电阻率的测试方法； GB/T 11446.5 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法： -GB/T11446.6 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法； -GB/T11446.7 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法； GB/T 11446.8 电子级水中总有机碳的测试方法； GB/T 11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法； GB/T11446.10电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法。 本部分为GB/T11446的第9部分。 本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本部分代替GB/T11446.91997《电子级水中微粒的仪器测试方法》。 本部分与GB/T11446.9一1997相比，主要有下列变化： 重新对“3.1微粒”进行了定义（见第3章）； 增加了“5干扰因素”（见第5章）； 删除了“11注意事项”（见1997年版的第11章）； 修订了P，的定义。 本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出。 本部分由中国电子技术标准化研究院归口。 本部分起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技 术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。 本部分主要起草人：王奕、褚连青、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠。 本部分所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T11446.9—1989.GB/T11446.9—1997。 I GB/T11446.9—2013 电子级水中微粒的仪器测试方法 1范围 GB/T11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。 本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的微粒粒径不小于0.05um，微粒的 浓度范围为0~10000个/mL。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T11446.1—2013电子级水 GB/T11446.32013 电子级水测试方法通则 3术语和定义 GB/T11446.3一2013界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 微粒 particle 粒状物，除去气体，非均匀地分散在水中的非液态物质。 4 方法原理 一束经聚焦的激光垂直于水样流向方向人射，水中的微粒将产生光散射效应，散射光的强度与微粒 的大小具有一定的关系，散射光经聚光镜会聚到光电倍增管，将光信号变成电脉冲，电脉冲的数目和幅 度分别与水中微粒的数目和直径成正比。电脉冲信号经放大输人计算机处理后，可直接获得微粒浓度 的测量结果。测量原理方框图如图1所示。 SAG 1