ICS17.180.30 CCS N 30 JB 中华人民共和国机械行业标准 JB/T 9328—2024 代替JB/T9328-1999 分辨力板 Resolving power test target 2024-10-24 发布 2025-05-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 JB/T9328—2024 目 次 前言 IH 引言 1 范围 规范性引用文件 2 3 术语和定义， 类型 4 图案和尺寸 5.1A型分辨力板的图案和尺寸 5.2B型分辨力板的图案和尺寸 5.3C型分辨力板的图案和尺寸 6 材料和结构. 7技术要求 7. 1 A型分辨力板图案的尺寸公差 7. 2 B型分辨力板图案的尺寸公差.. 7. 3 C型分辨力板图案的尺寸公差. 图案缺陷， 7. 4 7. 5 图案的光密度 7. 6 图案面疵病 7. 7 运输、贮存基本环境试验 8 试验方法 8. 1 试验条件 8. 2 A型分辨力板明、暗线条的线宽、线距偏差 8. 3 测量器具， 8. 4 A型分辨力板的相邻单元暗线条线距偏差的一致性 8.5 A型分辨力板的基线间距偏差和x,J方向基线间距一致性 8.6 A型分辨力板的十字线相对于基线的对称度 8.7 A型分辨力板的十字线中心位置与坏料几何中心位置的偏差 8.8 B型分辨力板明、暗辐射线的角宽度β的偏差 8.9 B型分辨力板图案中心位置与坏料几何中心位置的偏差 8.10 C型分辨力板图案尺寸偏差 13 8. 11 图案缺陷 13 8.12 图案的光密度 14 8.13 8. 14 运输、贮存基本环境条件试验 9检验规则 14 9. 1 检验分类 14 JB/T9328—2024 9.2出厂检验（即交货检验） 14 9.3型式检验. 14 10标志、包装、运输及贮存 14 10.1标志. 10.2 包装.. 15 10.3 运输. 15 10.4 贮存， 15 图1A型分辨力板的图案. 图2 复合式B型分辨率板 图3 检验A型分辨力板的线宽和线距 图4 检验基线间距.. 图5检验十字线中心与坏料几何中心的偏差. 图6 调整分辨力板辐射线中心与米字线中心重合 12 图7 检验B型分辨力板的辐射线角宽度 12 图8 检验C型分辨力板一个单元的图案尺寸 表1A型分辨力板的线条长度 单位为毫米 表2A型分辨力板的线条宽度 单位为微米， 表3A型分辨力板的图案尺寸 单位为毫米， 表4B型分辨力板的图案尺寸 表5C型分辨力板的图案尺寸和公差 表6A型分辨力板图案的尺寸公差 表7B型分辨力板的图案尺寸公差. 表8分辨力板图案的光密度要求 表9 分辨力板疵病检验有效范围 单位为毫米， 表10 检验的温度条件... 表 11 要求检验线宽、线距的单元号. 表12 检验A型分辨力板使用的物镜放大率 表13 检验线条缺陷和表面疵病所需要的显微镜物镜放大率 II