ICS 77. 040 CCS H 17 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 983-202X 代替YS/T 983-2014 硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法 Test method for measuring polysilicon reduction furnace exhaust gas composition determinationGas chromatography (报批稿) 2023-XX-XX 发布 202X-XX-XX 实施 发布 中华人民共和国工业和信息化部 YS/T 983-202X 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 本文件代替YS/T983-2014《硅多晶还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法》，与YS/T983-2014 相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下： a) 更改了范围（见第1章，2014年版的第1章）； 更改了规范性引用文件（见第2章，2014年版的第2章）； 6) 增加了术语和定义（见第3章）； c) d) 更改了方法原理（见第4章，2014年版的第3章）； 更改了试剂和材料（见第6章，2014年版的第5章）； e) f) 更改了仪器设备（见第7章，2014版的第6章）； g) 更改了样品采集（见第8章，2014版的第7章）； h) 更改了试验步骤（见第10章，2014版的第8章）； 更改了试验数据处理（见第11章，2014版的第9章）； i) 更改了精密度（见第12章，2014年版的第10章）； j) k) 增加了附录A（见附录A）。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委 员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。 本文件起草单位：亚洲硅业（青海）股份有限公司、青海芯测科技有限公司、青海丽豪半导体 材料有限公司、四川永祥股份有限公司、珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司、新疆戈恩斯能源 科技有限公司。 本文件主要起草人：丁小海、韩成福、许保红、陈英春、邢成莉、岳、赵小飞、李寿琴、付 国伟、赵娟龙， 本文件于2014年首次发布为YS/T983-2014，本次为第一次修订。 1