ICS13.040.35 CCS C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.12—2021/IS014644-12:2018 洁净室及相关受控环境第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 Cleanrooms and associated controlled environmentsPart 12:Specifications for monitoringof aircleanliness bynanoscaleparticleconcentration (ISO14644-12:2018，IDT) 2021-10-11发布 2022-05-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会 GB/T25915.12—2021/ISO14644-12:2018 目次前言引言 1 范围 2 规范性引用文件 3术语和定义 4 监测· 5检测报告附录A（资料性）以凝结粒子计数器进行监测的参照方法附录B（资料性）粒子计数效率和分割粒径参考文献 10

GB-T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

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